苏州友言机电工程有限公司

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    泸州无尘室工程施工

    author:苏州友言机电工程有限公司

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    time:2019-10-13 08:32:16

    第三节气流组织和送风量第5.3.1条气流组织的选择,应符合下列要求洁净工作区的气流速度,应满足空气洁净度和人体健康的要求,并应使洁净工作区气流流向单二、回风口宜均匀布置在洁净室下部三、余压阀宜设在洁净室气流的下风侧,不宜设在洁净工作区高度范围内。第5.3,2条洁净室的气流组织和送风量,宜按表53.2选用。第53.3条乱流洁净室的送风量,应取下列规定的最大值:为控制室内空气洁净度所需要的送风量、按表5.3.2规定的送风量:三、根据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需的送风量四、按空气平衡所需要的送风量第534条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达到更高的空气洁净度时,其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区,或在洁净室的不同区域形成不同气流流型和空气洁净度等级的洁净工作区。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
    无尘室洁净室 (3).jpg

    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


    无尘室洁净室 (1).png

    每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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